ミニマルファブ構想、半導体を多品種少量生産、超小型で迅速対応(産総研)

20111124日刊工業新聞13面

　半導体産業の多品種少量型の生産システムを目指す「ミニマルファブ(超小型工場)」構想を産総研が打ち出している。2010年1月に「ファブシステム研究会」を設立したが現在の参画機関は57と増加している。ファブ構想ではハーフインチサイズのウエハを採用し、生産ラインの装置の幅を1台30センチメートルとしている。局所クリーン化技術の導入でクリーンルームを不要とし、省スペース・低コストを目指す。ミニマル製造装置群、ミニマル局所クリーン化搬送システム、ハーフインチサイズウエハの開発を進めている。ミニマルファブが実現すれば、企業でのデバイス開発がスピードアップされ、半導体や光学デバイス、MEMSやバイオチップ、小口径の化合物半導体デバイス作製にも適用できる。