レーザー微細加工、光リソグラフィーより簡便(産総研)

20111103日刊工業新聞13面

　レーザーによる微細加工は、レーザー装置の高出力化や短パルス化により性能向上が著しい。産総研は石英ガラスなど透明材料の微細加工法として、光リソグラフィー技術によるエッチングに替わる簡便な方法として「レーザー誘起背面湿式加工法」を開発した。色素溶液を石英ガラスに密着して配置し、ナノ秒オーダーでパルスレーザーを照射する。色素溶液が瞬間的に高温・高圧状態となり、発生する衝撃波や気泡が石英ガラスの表面を削り取る。試作では数マイクロの幅でアスペクト比が100以上の溝を製作した。この加工法はレーザーによる直接描画と工程数の少なさから、少量変量生産に適した微細加工手法となっている。