MEMSデバイス事業拡大、需要増で生産能力を倍増（STマイクロ）

20110830電波新聞4面

　民生向けMEMSデバイスで世界トップシェアのSTマイクロエレクトロニクスは、生産能力を11年末に向け10年末比2倍、日産150万個から300万個へ増強中である。同社のMEMSビジネスは06年に任天堂のゲーム機に加速度センサーが採用されてスタートした。10年12月期の同社売上3億5千万ドル超の2割強は日本という。民生機器向け加速度センサーシェア50％、ジャイロセンサーで30％と世界トップシェアのさらなる拡大を目指している。新たに目指しているのは健康管理関連用途だ。緑内障診断用に圧力センサ内臓使い捨てコンタクトレンズやインシュリンナノポンプを開発している。

光リソグラフィー技術、数ナノメートルの加工分解能(北大)

20110829日刊工業新聞21面 　北海道大学電子科学研究所の上野貢生准教授、三澤弘明教授らは近赤外線を光源に使い、数ナノメートルの分解能で加工できる光リソグラフィー技術を開発した。加工分解能は露光用の光源の波長に依存し、真空環境下で真空紫外線(EUV、波長13.4ナノメートル)を光源とする露光装置を使えば20-30ナノメートルの加工ができるが装置が高額だった。今回、金や銀などの金属のナノ構造体が光と相互作用する性質を利用し、数ナノメートルの加工分解能でレジストパターンを形成する「プラズモンンリソグラフィー」と呼ぶ技術を開発した。通常の大気中で使える近赤外光を使い、高額な装置を使わなくても精密な加工ができる。

技術立社特集、MEMS部品、医療分野も有望

20110829日経産業新聞20面

　MEMS部品が脚光を浴びている。オリンパスは生物顕微鏡向けに先端7ナノメートルの針を開発した。この針を1秒間に150万回の速さで細菌やDNAに打ち付け物質形状を0.1ナノメートル単位で検知できる。パナソニックは医療機器向けに血圧を測る圧力センサーや血流を測るマイクロポンプを年内に実用化する。オムロンは風量、温度、人感センサーを半導体クリーンルームに設置し、空調最適化による消費電力半減を目指している。日本企業は技術力があるので、欧米大手との価格競争に対抗するための量産投資に出遅れないことが重要だ。

STMicroelectronics：Microtech2011＠韓国でMEMS技術PR

海外技術動向
http://www.azonano.com/news.aspx?newsID=23258
　韓国でマイクロ／ナノテクノロジに関する展示会（NanoKorea2011、Microtech2011）が開催される。（2011年8月24～26日）　その中でSTMicroelectronics（ST）は現在取組んでいるMEMSの主要技術をPRする。STは車載、モバイル、ヘルスケアをMEMS重点3分野としている。
　車載用新加速度センサの応用として減速度合いによってブレーキランプの点灯状態を変化させるg-Brake lightsを展示する。
　STのモーションセンサはすでに幅広く応用されているように、リモコン、デジカメ、ゲーム、タブレット、スマートフォン等の民生機器を革新していくであろう。
　STがiNEMOと呼んでいるソフトウェアはセンサヒュージョンに関するもので、具体例としてに、多軸の加速度、ジャイロ、電子コンパスからの信号を総合的に処理して正確な挙動を出力するソフトウェアがある。またSTのMEMSマイクは、電磁場、温度変化の影響をキャンセリングする。
　ヘルスケア分野ではMEMSインシュリンポンプを展示する。またコンタクトレンズに装着できる眼圧センサはワイヤレスで24時間モニターができる。

クールデバイスの実力(下)永久稼働へ「電源なし」追求、振動や熱、圧力で発電

20110824日経産業新聞1面

　東日本高速道路の子会社のネクスコ東日本エンジニアリングはオムロンと共に、振動発電素子を開発し、高速道路に一定間隔でこの発電部品を組み込んだシステムを設置することを目指している。発電部品は電極基盤を2枚対にして仕込み、振動により生じた基盤のズレで静電気を発生させ電気を取り出す。現在のところ発電能力は最大で30マイクロワットで、常時100マイクロワットを目指す。システムは地震の揺れや振動情報を蓄積し、無線で送信し、高架橋や道路の傷み具合を割り出す計画だ。

　村田製作所は温度差で発電する部品の開発に取り組んでいる。ボイラーに部品の片方を取り付け、もう片方を空気にさらして発電する。10度の差で100マイクロワットの発電が可能。工場内の環境監視センサーの電源として需要を見込んでいる。

　エネルギーハーベスティングコンソーシアムはNTTデータ経営研究所が立ち上げた団体で加盟社数は50社を超えそう。電子部品メーカーをはじめ自動車メーカー系研究機関が加わっている。各社は共同で発電部品を活用した車内配線の無線化を目指している。高級車では150以上のセンサーを搭載し、電源ケーブルは長さが1㎞にも達するが、発電部品により自力で電力を賄えればこのケーブルが不要となる。

　「電気を使わない技術」はさらに次の「使う電気は自分で作る技術」に、「永久稼働」の新製品に向かっている。

触覚センサー量産、介護分野に提案（タッチエンス)

20110823日刊工業新聞29面

　埋め込み型の柔軟触覚センサー「ショッカクキューブ」の量産モデルをタッチエンスが発売する。ショッカクキューブは2センチメーター角の立方体型センサーで、電子回路をウレタンで包んだ構造、センサー自体を柔軟に変形できる。本体底部の発光ダイオードの光を本体上部のセンサーが検知する仕組みで、3次元方向の変位、「つねる」、「なでる」動作も読み取る。介護用品向けに引き合いがあり、民生用ロボット市場を目指す。今後はMEMS3軸触覚センサー「ショッカクチップ」を発売する予定。

3軸加速度センサー、直交性を高精度検査(東工大)

20110823日刊工業新聞4面

　東京工業大学の伊能教夫教授、木村仁助教らの研究グループは3軸加速度センサーの直交性を1000万分の1度レベルで検査校正する技術を開発した。検査装置は、センサーが一定方向を向いたまま円運動をし、各軸の出力サイン波を分析して、軸からずれた角度を位相差から、感度を振幅からそれぞれ算出する。センサーの各軸を運動面からずらして設置し、角度を変えて2回測定し、3軸の方向と感度が求められる。3軸センサーは組立や実装の際に軸がずれることがあり、1軸毎に測定すると高精度測定が難しかった。地震計など高精度測定が求められるセンサーの校正技術として期待される。