高精度超音波、半導体で、MEMS活用、発信機小さく、顕微鏡応用へ（NTT)

20130419日経産業新聞10面

　MEMS技術で加工した振動版を使用して、波形がそろった超音波を発信する半導体素子をNTTが開発した。端子の片方から波形が不ぞろいの超音波を入力すると、振動版が波形を揃え、もう片方の端子から揃った波形が出てくる。従来は水晶振動子などの部品が必要だが、新素子を使えば発信機の設置面積は10分の一以下になる。今後、ナノメートルサイズのカーボンナノチューブやグラフェンなどを振動板に利用すれば発振できる超音波の周波数を100ギガヘルツまで高められ、分解能が10ナノメートルの顕微鏡が実現できる。開発した半導体素子は振動発電向け素子としても使える。

業界最小クラスの水晶発振器、設置面積半分に(セイコーエプソン)

20130418電波新聞3面

　従来製品に比べて設置面積で50％、体積で65％削減した水晶振発振器をセイコーエプソンが発売する。32.768キロヘルツ水晶発振器は、時計やモバイル等電子機器の駆動・制御に欠かせないデバイス。同社は水晶素材とMEMS技術を組み合わせたQMEMS技術と、半導体技術により、水晶振動子と発信回路を小型パッケージに集積している。

地磁気センサー拡大、愛知製鋼向け、来春から量産(ローム)

20130417電波新聞1面

　ロームは業務提携した愛知製鋼から地磁気(MI)センサーの技術供与を受け、MI素子、MIセンサーの量産に乗り出す。ロームの米子会社カイオニクス社が生産する6軸複合センサーに自社製を使用するほか、ジャイロを組み込んだ9軸センサーや圧力センサーを組み込んだ10軸センサーを製品化する。MIセンサーはアモルファスワイヤを使用する地磁気センサーで、愛知製鋼が開発・生産しており、ホール素子などの半導体センサーに比べて1万倍の感度をもつ。愛知製鋼は磁気センサー市場の拡大を予想し、優れた量産技術を持つロームにMIセンサーの生産を委託し、自社は高感度・高精度が求められる車載や医療市場へ軸足を移す。

小型プロジェクター、名刺入れサイズに(パナソニック)

20130412日経産業新聞4面

　発光ダイオードを光源とし、タブレットやPCの画像を投影する小型プロジェクターをパナソニックが発売する。「マイクロビューアー」は縦6㎝、横10.2㎝、厚さ2.2㎝、重さは110gで、60インチのサイズで投影できる。

小型の振動発電部品、出力4倍、ICタグや車載向け開拓(スミダコーポレーション)

20130412日経産業新聞4面

　スミダコーポレーションは従来品に比べて出力を4倍に高めた超小型振動発電部品を開発した。直径4ミリメートル、長さ15ミリメートルのサイズで、複数のコイルと磁石をつなぎあわせ、電磁誘導の頻度を増やすことで出力を向上した。アクティブRFIDと呼ぶICタグの内臓電池の代替や、タイヤ空気圧警報装置(TPMS)のタイヤに取り付けるセンサーの電力を狙っている。

MEMS差圧センサー、広い計測範囲、低圧力域で優れた感度再現性(オムロン)

20130410電波新聞3面

　オムロンは熱式MEMSフローセンサーチップを用いたMEMS差圧センサーを開発した。これまでの静電容量方式やピエゾ方式などの差圧センサーに比べ、計測範囲が広く、低圧力域での感度、再現性を高めた。内臓ASICで直線補正、温度補正のデジタル処理を行っている。測定範囲を0-250パスカル、±50パスカル、±500パスカルの3機種を取りそろえた。

磁気抵抗センサー事業拡大、NECから譲受、今年度20億円以上へ(村田製作所)

20130410電波新聞1面

　村田製作所は6月にNECより譲受するMR(磁気抵抗)センサー事業を自社のMRセンサー事業に加え、同分野市場への取り組みを強化する。自社MRセンサーで高シェアを持つ紙幣・磁気インク・磁気カードインクなどの時期識別市場、OA/FA機器などの回転センサー市場から、NECが得意とするモバイル機器の開閉検出や給湯器、水道・ガスメーターなどの流量検出、産業機器市場に拡大する。