気体漏洩100万分の一検知、MEMSセンサー向け(フクダ)

20131210日経産業新聞1面

　MEMSセンサーの長寿命化につながるMEMS内部回路の気密性検査精度を大幅に高める技術を試験装置メーカーフクダが開発した。気密性の目安となるヘリウムの漏洩量が従来の100万分の一でも検出できる。新たな技術は、真空ケースの中にセンサーを入れた真空のカプセル状容器を置く二重構造で、真空ケース内の異種ガスを除去した後にカプセルを開く事で異種ガスの混入量を大幅に抑制した。自動車運転技術の普及で需要増を見込んでおり、まずは研究開発向けに1000万円程度で発売し、製造ライン向け装置も投入する。