MEMS技術でセンサー開発へ(山形県工業技術センター)

20130725日刊工業新聞35面

　山形県工業技術センターはMEMS技術を活用した二酸化炭素濃度や風量を測定するセンサーの開発に着手する。電子回路を含めた小型にも取り組み、工場の空調管理の最適化を目指し、2015年度末までの計画で進める。