半導体の超小型生産システム、ミニマルファブまずMEMS、5億円で新ライン、産総研など来月販売

20130306日経産業新聞1面

　半導体の超小型生産システム「ミニマルファブ」が実用化段階に入り、産業技術総合研究所と中小企業で構成する「ミニマルファブ技術研究組合」が4月から装置の受注を始める。「ミニマルファブ」は二分の一インチのウエハーを使い、幅30センチ、奥行き45センチ、高さ144センチの大きさに統一した小型ユニットをつなげて半導体製造ラインを構成する。洗浄、ウエットエッチング、マスクレス露光、CMPなど12種類前後のユニットを受注し、各ユニットの価格は1000～3000万円。まずは少量生産ニーズのMEMSセンサーの需要を開拓する。産総研などはイオン注入器、エッチャー、化学的気相成長法(CDV)炉などのユニットも開発中で、大規模集積回路(LSI)の生産にも対応する。ミニマルファブはウエハーを密封する専用の容器と、ユニット内部の搬送システムを採用し、クリーンルームが不要。5000億円規模の投資が必要なメガファブに比べ、1億～5億円で半導体生産ラインを構築できる。