水晶振動子で淡水化監視、膜の目詰まり解明に期待(日立)

20130307日経産業新聞2面

　日立製作所と日立プラントテクノロジーは海水淡水化設備の水処理膜の状態監視に、水晶振動子を使った計測技術「水晶振動子マイクロバランス(QCM)法」の適用に関する研究を行っている。QMC法は一定の振動をしている水晶振動子に、物質が付着した際の周波数変化を検出し、微量な物質の質量を測定する。半導体製造装置内の膜厚センサーで実用化されている技術を水中に応用したもの。