小型・高精度の気圧センサー、20センチ差検出、スマホ開拓(ローム)

20141212日経産業新聞6面

　ロームは業界最高水準の精度と小型化を実現した気圧センサーを開発した。同製品は20センチメートルの高低差を検出できる。気圧の検出はMEMSセンサー素子が担い、素子のマイクロメートル単位のたわみの変化から気圧を検出する。気圧センサーは従来から自動車用途に使われており、独ボッシュやスイスのSTマイクロエレクトロニクスがシェア上位を占めているが、ロームは高精度化に加えて2.5ｘ2.5ｘ0.95ミリメートルの小型化を実現しスマホへの搭載を目指している。