薄膜圧電素子形成のMEMSデバイス、受託生産、ファウンドリビジネス開始（ローム）

20140805電波新聞1面

　ロームは薄膜圧電素子を形成したMEMSデバイス(圧電MEMS)を受託生産するファンドリービジネスを9月から開始する。加速度、ジャイロ、圧力、赤外線など各種センサーやインクジェットヘッド、マイクロホン、スピーカー、環境発電などアクチュエーターとして供給する。