圧力センサー、ゆがみ検知、スマホ狙う（STマイクロエレクトロニクス）

20140404日経産業新聞6面

　STマイクロエレクトロニクスは3月に独自の加工技術を活用した世界最小クラスの圧力センサーを発売した。圧力センサーは縦横が2.5ミリメートル角で高さが1ミリメートル。構造はシリコンに溝を付けて表面加工すると溝の上部同士がつながって膜のようになり、シリコンで囲まれた空洞ができる。気圧がかかるとこの薄膜がゆがみ、電圧が変化して気圧測定できる。さらにASICと一体化し、MEMSから出たアナログ信号はASICで温度補正・増幅・デジタル変換される。気圧検知で期待される用途は、階に応じたビルのナビゲーション、カーナビで高速道路と一般道の認識、家庭でドアの開閉による空気圧変化による入退室検知によるエアコン制御等。