静電容量型高精度MEMS気圧センサー、消費電流、従来の１／４(村田製作所)

20140130電波新聞4面

　村田製作所は静電容量型高精度MEMS気圧センサーを、ナビゲーションシステム、活動モニタリングシステム、ヘルスケア機器、気象データ収集向けに開発した。海抜60m地点で57センチメーターの段差がある階段を検出できる。