シリコンエッチング装置、自動処理で生産性向上(サムコ)

20131128日刊工業新聞10面

　サムコはMEMSやTSVの加工に適したシリコンエッチング装置の量産機を発売する。真空カセット室やウエハーを位置合わせするアライメント室を備え、自動処理が可能で生産性を大幅に向上させた。価格は1億5225万円。