NISTの新しい測定ツールは急成長のMEMS産業をターゲットに

http://phys.org/news/2013-05-nist-tool-fast-growing-mems-industry.html
　MEMS市場の成長と拡大にともない、米国国立標準技術研究所（NIST）はデバイス設計者、製造者及びユーザにとって待望の、8諸元の測定が可能な測定ツールを導入した。
　NISTが開発したテスト・チップ（基準材料8096と8097）は、さまざまな製造装置で作られたMEMSデバイス間の高精度かつ高信頼の測定値比較を可能とし、プロセスの特性把握、トラブル処理、機材の較正、関係者間のコミュニケーションを容易にする。
　MEMSはかつて半導体産業の継子といわれ、用途はおもに自動車のエアバッグシステムの加速度センサに限定されていた。しかし、コンシューマ向けでは多数のアプリケーションに用いられ、たとえばハイエンドスマートホンではマイク、加速度センサ、ジャイロスコープなど約10個のMEMSデバイスが使われている。MEMSデバイスは、タブレット型コンピューター、ゲーム機、lab-on-a-chip診断システム、表示デバイス、移植型医療デバイスなどの重要な構成要素である。
　技術コンサル会社Yole Développementは、世界のMEMS産業収益は2011年の100億ドルから2017年の210億ドルに増加すると予測している。汎用の基準材料と標準化された測定方法により、MEMSデバイスに要するコストと時間を削減することができ、異なるメーカーによってつくられたMEMSデバイス間の相互接続性をより高めることができる。
　新しいNISTの基準材料は、表面境界層の厚さを測るために微小サイズの片持ち梁、梁、階段状の台、及び表面層の厚さを測定する構造を含む。具体的には、段差高さ、長さと同様、弾性（ヤング率）、残留張力（及び応力）、張力（及び応力）勾配を測定し、国際標準との適合チェックに使うことができる。
（調査研究・標準部　出井敏夫）