原子間力顕微鏡、分解能15ピコメートルを実現、プローブの位置を3次元で制御(日立)

20120425電波新聞5面

　原子の大きさ約100-300ピコメートルよりも1桁小さな15ピコメートルの分解能を持つ原子力間顕微鏡(AFM)を日立製作所が開発した。小型で測定感度が10ピコメートルの光干渉変位センサーを顕微鏡に組み込むことにより実現した。AFMは探針を、探針先端と試料表面の原子間に働く力(原子間力)を一定に保つよう制御することにより、試料表面の立体形状を測定する。従来は探針の位置を静電容量型センサーで検知したが、光干渉変位センサーにより感度を飛躍的に高めた。