シリコンエッチング装置、自動処理で生産性向上(サムコ)

20131128日刊工業新聞10面

　サムコはMEMSやTSVの加工に適したシリコンエッチング装置の量産機を発売する。真空カセット室やウエハーを位置合わせするアライメント室を備え、自動処理が可能で生産性を大幅に向上させた。価格は1億5225万円。

使い捨て検診センサー、理研発ベンチャーと早大

20131123日本経済新聞10面

　理化学研究所発のベンチャー、理研ジェネシスと早稲田大学の逢坂哲也教授らは電界効果トランジスタ（FET）を活用し、健康状態を早期に診断する使い捨てセンサーを開発した。半導体チップに唾液や血液、鼻水などを付けると、それらに含むウイルスに反応し、肝臓がんやインフルエンザ、アレルギーの原因となる「IgE」と呼ぶ抗体の測定に成功した。まず皮膚の水分量を測定するセンサーとして2014年中の実用化を目指す。センサーの作成費用は現在2万円だが量産により50円程度になるという。

電流センサー「大電流市場」にマト、アルプスが本格取組み

20131125電波新聞1面

　アルプス・グリーンデバイスは、HEMS/BEMSなどエネルギー・マネジメント市場、EV/HEVなど車載インバータ関連市場などへの、電流センサー事業に取り組む。同社の電流センサーはコアレス構造のMR電流センサーで、軽量、発熱が抑えられ、2000Aまでの測定が可能。

デジタル気圧センサー、来年から事業本格化、スマホ向け量産へ（アルプス電気）

20131125電波新聞3面

　アルプス電気はスマホ用デジタル気圧センサー事業を本格化させ、第1弾として温度補正機能付き3ミリ角サイズのデジタル気圧センサーの量産を行う。センサーは圧力測定範囲30～110kPaで圧力分解能は1Pa。気圧検知により高度の特定に活用でき、今後スマホへの搭載率拡大が期待されている。さらに、水位センサーへの展開を探っている。

胃カメラなどの触覚センサー、上下左右の圧力検知、体内挿入の負担軽く（SEMITEC)

20131125日経産業新聞10面

　SEMITECはMEMS技術を活用し、広範囲な検知が可能な触覚センサーを開発した。胃カメラやカテーテルなどの医療機器向け需要を見込んでいる。直径1.9ミリメートル、長さ1.9ミリメートルの円柱型、尖端の突起物が圧力を数グラム重単位で検知できる。

曲げて使える圧力センサー、スマホ側面など向け(日本メクトロン)

20131120日経産業新聞4面

　プリント基板大手の日本メクトロンはフレキシブルプリント基板(FPC)による、曲げた状態で使える圧力センサーを開発した。FPC上部のカバーフィルムにパターンを刻み、フィルムに圧力がかかると基板上の電極間の抵抗値が下がり、圧力の大きさを検知する。厚さは0.1ミリから0.15ミリと従来のシリコンなどの製品に比べて10分の1程度。これまで装着が難しかった家電製品の曲面などにも使える。医療分野でベッドの下に敷くセンサーとしてモニタリングへの応用などを提案する。

電子コンパス用地磁気センサー事業を拡大、多軸センサーも開発進める(アルプス電気)

20131114電波新聞3面

　アルプス電気は電子コンパス用小型地磁気センサー事業を拡大する。同社の地磁気センサーはHDD用GRM素子などの技術を発展させたもので、10年から事業を立ち上げ12年以降は大きく出荷が増大している。今後は地磁気センサーと加速度センサー複合した6軸センサーを開発し、将来的にはジャイロセンサーも含めた9軸にも取り組む。