次世代半導体製造向け露光装置、生産効率高め巻き返し(ニコン)

20130731日経産業新聞4面

　次世代半導体製造向け露光装置でニコンが競合するASMLとは異なる技術で受注を獲得している。ニコンが手掛けるのは「Arf液浸露光」という技術で、波長が193ナノメートルの光源「Arf」を使用し、回路原版(フォトマスク)の回路をレンズで集光しウエハーに転写する際に、レンズのウエハーの間を純水で満たして集光性を高めるもの。純水を使う事で屈折率を1.44まで高める事が出来、微細な回路をウエハーに焼き付けられる。ニコンはこの技術による露光装置をインテルなどから受注。現在主流の直径300ミリから450ミリへの大型化に対応し、2015年に試作機、17年には量産機を出荷する。ASMLは波長が13.5ナノメートルとArfの10分の一以下の極紫外線(EUV)を使った装置の開発に力を入れているが、まだ次世代ウエハー用の装置では受注していない。ニコンは1990年代にウエハー大口径化への移行時に技術面でASMLに後れを取りシェアを大きく落としたが、今回は奪還を狙っている。

EmiSense Technologies社（米）：自動車用PMセンサ開発、実用化へ期待

米ベンチャー企業EmiSense Technologies(カリフォルニア州)は、米VC9^th Street Capitalによる6.5 million US$の投資を受けて、すすなどの粒子状物質をリアルタイムで探知するPM-Trac^® センサを開発した。これまで、灰が電極に蓄積することにより、PMセンサの耐久性が課題となっていた。低コスト化や、応答速度、精度、耐久・耐衝撃性の向上が進んだことで、排ガス規制が強まる自動車等の分野での実用化が期待される。同社は、商業化に向けたパートナーを2014年春先までに選定する。

 

20130606 The American Ceramic Society: http://ceramics.org/ceramic-tech-today/ceramic-technology-for-auto-emissions-sensors-evolves

解説動画: http://oculudirect.oculu.com/im_share.php?video_number=1767586800

MEMS技術でセンサー開発へ(山形県工業技術センター)

20130725日刊工業新聞35面

　山形県工業技術センターはMEMS技術を活用した二酸化炭素濃度や風量を測定するセンサーの開発に着手する。電子回路を含めた小型にも取り組み、工場の空調管理の最適化を目指し、2015年度末までの計画で進める。

羽毛より軽い半導体センサー、東大が開発

20130725日本経済新聞38面

　東京大学の染谷隆夫教授らは、羽毛より軽く、厚さが2マイクロメートルで、ラップフィルムのように柔らかな半導体センサーを開発した。特殊溶液に浸した1マイクロメートルの高分子フィルムに電気を流し、2層の絶縁層を均一に形成した。肌に貼り付けても装着感が無く、体温や心拍数、血圧などの測定器への応用が期待される。

MEMSディスプレー、動画滑らか、IGZO技術で量産へ(シャープ)

20130724日経産業新聞4面

　シャープがクアルコムと共同開発するMEMSを使った新しいディスプレーの実用化にめどを付けた。得意のIGZO技術を応用し、動画表現力に優れており、5月に試作品を完成させた。MEMSディスプレーはバックライトに発光ダイオード(LED)を使い、バックライトの順次発光する3原色の透過量を0.1～0.2ミリメートル角のシャーターで微調整して、表現したい1色を作り出す。液晶は60ヘルツの電流で駆動しており動きの速い動画では映像がぶれるが、シャッターは1秒間に1000回以上開閉し、液晶を300ヘルツで駆動するのに相当する。シャッターを制御する回路の材料に半導体酸化物であるIGZOを使用し、シャッターの高速制御と大画面化を実現した。試作したディスプレーは7型のサイズで1280x800の約100万画素。同社は量産技術を2014年末をめどに確立する。

高精度地磁気・加速度センサー、モジュール化、小型に、米VBに出資、開発(アルプス電気)

20130723日経産業新聞4面

　アルプス電気は米ベンチャー企業エムキューブ(カリフォルニア州)に約1億円を出資し、自社の地磁気センサーとエムキューブの加速度センサーをモジュールにして小型化した新製品を開発した。6軸の検知で移動方向の精度を高めた。これまでは各センサーを組み合わせるケースが多く、開発工程が複雑だった。

慣性計測ユニット2種、検出範囲など向上(セイコーエプソン)

20130722日経産業新聞4面

　セイコーエプソンは産業向け慣性計測ユニット2機種を開発した。M-G352はジャイロセンサーで1.5倍、加速度センサーで2倍の検出範囲を実現し、無人探査機や飛行機、自動車など大きな動きを伴う機器の姿勢制御に役立つ。M-G362は安定性を2倍に高め、ブレや振動の少ない安定した静止状態が要求される業務用カメラや地上設置型アンテナに向く。