MEMS（微小電子機械システム）向けの微細な製造技術（米コトテクノロジー）

20151116日経産業新聞9面

　米コトテクノロジーはごま粒大の超小型スイッチ部品を開発した。磁石を近づけるとオン・オフが切り替わるリードスイッチで、ウエアラブル機器の需要を見込む。開発した製品はMEMS技術を採用し、セラミック基板上に金属膜を形成した後、金属膜を加工して微小な電極を形成している。表面にスイッチを搭載する場所がないほど小さな機器や、デザイン性を重視して表面にスイッチを設置したくない機器などの需要も見込む。ウエアラブル機器向けの電子部品の小型化が加速しており、中古の半導体製造装置を電子部品メーカーが入手し、MEMS技術の応用による対応が進んでいる。