電子部品メーカー、MEMSセンサー強化

20151125電波新聞1面

　電子部品メーカーがMEMSセンサー事業への取り組みを強化している。パナソニックAIS社はMEMS技術を応用した静電容量出力タイプの感圧スイッチを開発し、簡易重量測定等を見込んでいる。村田製作所はMEMS加速度センサーを応用した「ワイヤレスベッドセンサー」を開発し、ヘルスケア用途を見込んでいる。TDKは気圧・温度・湿度センサーを組み合わせた3-in-1MEMSセンサー、MEMSマイクロホン、自動車向け圧力センサーを販売している。オムロンはMEMS3軸加速度センサーとSI(スペクトル強度)演算アルゴリズムにより世界最小クラスの感震センサーを開発し、装置・設備の停止用需要を見込んでいる。アルプス電気は産業機器向けのMEMS方式フォースセンサー開発、体積比で従来品の1/10を実現した。ロームは地磁気(MI)センサーと加速度MEMSセンサーを組み合わせた6軸複合センサーをモバイル機器向けに展開する。ミツミ電機はMEMSセンサーとMEMSミラー、気圧センサーを展開する。北陸電気工業は非接触温度センサーを開発し、MEMSセンサー事業を強化している。