20150629電波新聞1面
電子部品メーカー各社のMEMSセンサーへの取り組みが加速している。村田製作所は加速度センサー、ジャイロセンサー、コンボセンサー、傾斜センサー、気圧センサーを生産し、表面実装型MEMS角加速度センサーを開発した。TDKは気圧・湿度センサーや圧力センサーを販売している。アルプス電気は湿度センサー、弾性波を利用した3軸ジャイロセンサーを開発している。ミツミ電機はセンサーとミラーデバイスを、ロームは気圧センサーと加速度センサーを、北陸電気工業は湿度センサー、日本航空電子工業は高精度加速度センサーを開発している。
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