MEMS式ジャイロセンサー、振動や温度変化に強く（シリコンセンシングジャパン）

20150605日経産業新聞6面

　シリコンセンシングシステムズジャパンはMEMS式ジャイロセンサーで、機械式や光ファイバー式に比べて安価で振動や温度変化に強い製品を開発した。振動するシリコンの形状を工夫し、周りを真空状態にすることにより、精度を表すバイアス安定度を毎時0.12度と従来製品の10倍以上改善し、機械式・光学式と遜色無いレベルとした。価格は20万円程と機械式・光学式の数分の一と抑えられた。機械式のように定期点検が不要で、光学式より衝撃に強い。MEMS式は従来は携帯電話や自動車などの汎用品が中心だったが、船舶・航空機、石油掘削などの用途を開拓する。