構造物の劣化、微動で計測、3軸加速度センサー開発、ノイズ1000分の1（日本航空電子）

20141016日経産業新聞6面

　日本航空電子工業はMEMS技術を活用し、インフラモニタリングに有効な常時微動の計測に適した3軸加速度センサーを開発した。従来の地震計(サーボ型加速度計)に比べて価格を半分以下に抑えられる。MEMSセンサーは「くし歯型」の可動電極を持ち、揺れを静電容量の変化として捕える。ノイズ低減と加速度以外の外部要因対策を盛り込んだ。