小型半導体式ガスセンサー、感ガス部面積100分の1（フィガロ技研）

20141001日刊工業新聞12面

　フィガロ技研はMEMS技術を用い、サイズ、消費電力共に世界トップクラスの半導体式ガスセンサーを発売する。においや有機溶剤など空気の汚れを検知し、ガスの吸着・脱着による電気伝導率の変化をガス濃度として検知する。感ガス部の面積が小さく室温から差動温度まで到達する熱応答が速いため、消費電力が抑えられる。新たな用途としてスマートフォンやタブレット端末、ウエアラブル端末、さらにはIOTやM2M分野への展開を目指している。