MEMSデバイスに進出、圧電薄膜を活用（第一精工）

20140512日刊工業新聞1面：

　第一精工は圧電薄膜を使用したMEMSデバイス分野に進出する。同社は自動車の安全技術向上やスマートフォンの高機能化に伴い、圧電MEMSデバイスによる制御関連部品の需要が拡大するとみている。成膜装置や関連設備を導入し、クリーンルームも整備し、15年中に量産技術確立を目指している。