PM2.5も逃がさない、微細な穴多数の薄膜部品、電磁波を照射し検出(村田製作所）

20130830日経産業新聞4面

　1マイクロメーターの微細な穴を多数あけ、直径2.5マイクロメートル以下の粒子状物質(PM2.5)などを簡単に検出できる薄膜部品を村田製作所が開発した。電磁波を照射して微細物質が網に引っ掛かっていないか検査する。屋外で大気汚染状況を調べるといった使い方を想定。微量な花粉やほこり、粉体に加え、インクジェット吐出液の検出、フィルムや薄膜の厚みの計測もできる。特殊な吸着剤を使えば、たんぱく質など特定の分子結合の検出にも使える。