MEMSセンサー、アルプス電気が取り組み強化

20150907電波新聞4面

　アルプス電気はMEMS技術を活用したセンサーへの取り組みを強化している。新たなセンサーとしてスタイラスペンなどで使用するフォースセンサーを開発した。同センサーは半導体ひずみ素子を用い、MEMS技術を活用し、高感度で小型化を実現した。同フォースセンサーはロボットや産業機械への展開も見込んでいる。