圧電振動ジャイロセンサー、ラジコンヘリ向け検知能力高める(村田製作所)

20110331　日刊工業新聞　11面

　角速度の検知能力を高め、室内ラジコンヘリ向けに改良した圧電振動ジャイロセンサーを村田製作所が出荷する。温度変化による出力電圧のズレである温度ドリフトを低減した。近年需要が拡大しているホビー用とのラジコンヘリ向けジャイロセンサーで、村田製作所は世界シェア90％を占め、累積出荷は3000万個を超えた。

MEMSマイクロホンユニット開発（ホシデン）

20110330 日刊工業新聞 12面
　携帯電話や携帯ゲーム機向けのMEMSマイクロホンユニットをホシデン(東大阪)が開発した。信号をデジタル化し、誘導ノイズなどの影響を受けにくく、マイク周辺の基板回路設計が容易となる。

MEMS技術に注目、3軸加速度センサーやジャイロセンサー

20110329 電波新聞 3面

　センサーでMEMS技術が注目されている。HDDのデータ保護向けの落下センサーとして3軸加速度センサーが、カメラの手振れ防止としてジャイロセンサーが定着している。MEMS製造のウエハーはシリコンが一般的だったが、高精度なセンサー開発を目的として水晶利用が増えてきており、ジャイロセンサー、6軸センサー、気体や液体の圧力センサーが開発されている。

ジャイロセンサー、MEMS技術活用、樹脂使い小型で安く(村田製作所)

20110328 日経産業新聞 1面

　村田製作所は、封止材料をセラミックスや金属に替えて樹脂とすることにより、安価で小型化した、MEMS技術によるジャイロセンサーを開発した。同社のジャイロセンサーは単結晶シリコン製の櫛状電極をガラスで密封しているので、封止材料を安価な樹脂に替えたもの。単価は数百円で主にカーナビ向け。

Honeywell社：軍需用超小型高精度MEMSジャイロセンサ開発

2011.3　海外技術動向
http://www.militaryaerospace.com/index/display/article-display/9907344434/articles/military-aerospace-electronics/executive-watch-2/2011/3/honeywell-to_develop.html

　Honeywellは、DARPA支援の開発プロジェクトの下で軍需用超小型高精度なMEMSジャイロセンサを開発した。これは航空、陸上、海上の戦闘機のナビゲーションに用いられる。測定原理は振動式、速度積算式を用い角速度計測範囲の拡大化がなされている。また様々なノイズ因子（電波、振動、熱等）を除去し、回転方式のジャイロスコープと同レベルの検出精度を備える。
　　　　　

VTI社（フィンランド）：世界最小の3軸ジャイロセンサ開発

2011.3　海外産業動向
http://www.sys-con.com/node/1764463
　民生用の3軸ジャイロセンサの成長は著しく、ゲーム機やスマートフォン、タブレットへの搭載の後押しもあり、今年の出荷数は2億個に達する見込みである。このような需要の増大に対し、VTIは世界最小のデジタル出力3軸ジャイロセンサ(CMR-3000)を開発した。CMR-3000の特徴は、低消費電力、高い出力安定性、超小型で、特に出力形式はゲーム機の仕様に合わせており現在の民生用のニーズにマッチしている。小型化に関し、ウェハレベルパッケージング技術を用い、世界最小サイズ3.1x4.2x0.8mmを達成した。

昆虫型ロボット戦士が現れるか

2011.3　海外技術動向
http://gcn.com/articles/2011/03/25/army-studies-insects-to-design-bugbots.aspx
　米国軍事技術の研究者によると、将来の戦場では、ハエのような小さなロボットが偵察を担うかもしれない。現在様々なロボットが開発されているが、サイズが大きく、なにより自身の移動性能が低い。軍事技術研究所ではマイクロな自律移動システム（Micro-Autonomous Systems Technology: MAST）の開発が行われている。目的は、空間を自由に移動でき、かつ複数で自律的に行動する小型ロボットの開発である。これによって戦場で一人の戦士が複数の小型ロボットを操縦して軍事行動を行うことができる。小型ロボットの中でも特にハエのように翼と視覚、嗅覚を持ち自由に飛行できるセンサ付きロボットは有用性が高い。さらに通信機能を持たせ、ロボット同士で信号の伝達、団体行動を行い、建物の中を探索する。
　サイズを大きくした試作品ではすでにハエと同じメカニズムで飛行することに成功している。これからはいかにダウンサイズを図るかが課題となっている。