マイクロナノ記事クリッピング2010/8/30-9/3

20100901 日経産業新聞　5面：MEMS先端部品開発へ、欧米勢追撃へ総力戦
MEMSの価格競争力で欧米に追い付くべく、日立製作所やオムロンなど国内メーカー15社がMEMS部品の共同開発への取組を始めた。筑波の産総研に200㎜サイズのシリコンやガラスのウエハー加工ライン構築が進んでいる。NEDOの委託で各社が参加するBEANS研究所の特別プロジェクトで、15社に加えて産総研の技術者も参加し、新たな設備を使いながら製造ノウハウの共同開発を進める。

20100901　日経産業新聞　5面：小型圧力センサー、精度、他社の10倍(エプソントヨコム)
高さに換算して3㎝の変化量が検出できる高精度小型圧力センサーをエプソントヨコムが開発した。水晶基盤にMEMS技術による微細加工を施した。分解能が0.3パスカル、30キロ～130キロパスカルの測定範囲。携帯型ナビやスマートフォンなど小型機器への応用が期待される。

20100901 日刊工業新聞 22面：アクチュエーター、塩ビのゲル使い開発(信州大）
ポリ塩化ビニール（PVC）のゲルを使ったアクチュエーターと小型ブレーキを信州大学とハーモニック・ドライブ・システムズが開発した。PVCに電気を流すとプラス電極に引き寄せられる性質を生かし、網状の電極とPVCゲルを何層にも積層し、通電と切断により伸縮する。医療福祉ロボットへの活用を見込んでいる。

20100901 電波新聞 5面：MEMS産業最前線(日本アビオニクス、日本レーザー）
日本アビオニクスはMEMSデバイスの真空封止に必要な真空シーム溶接機を開発している。真空封止はパッケージ内の内部空気抵抗を低減し、MEMS可動部分の動作性を向上でき、センサー等でニーズが強い。
日本レーザーは静電ジェットパターンニング装置を取り扱っている。同装置は高粘度材の描画、フェムト・リットル・オーダーの極微量塗布、ナノ粒子のスプレー塗布などが行える。

20100901 電波新聞 4面：水晶を極め成長市場開拓、QMEMS技術強化(エプソントヨコム)
エプソントヨコムの社長に就任した矢島氏は同社のビジョンを語った。水晶をベースにしたMEMS技術であるQMEMS技術を、タイミングデバイス、センシングデバイス、オプトデバイスの事業に応用してきた。引き続きQMEMS技術を強化し、超小型、高精度、新機能デバイスを開発する。

20100903 日経産業新聞 5面：アルプス電気、センサー強化、小型・複合化で新用途
センサー部門の事業拡大にアルプス電気が取り組んでいる。エネルギー・環境分野ではEV用市場を最大の狙いとし、大容量バッテリーの充放電状況把握の基幹部品としている。従来型の圧力や磁気検知センサー分野ではMEMS技術による小型化に取り組む一方、競争力強化のため複数のセンサーを組み合わせたモジュール、通信モジュールとの組み合わせを進めている。

20100903 日刊工業新聞 28面：国際コンテスト予選、高校生部門を新設(MEMSパークコンソーシアム)
MEMSパークコンソーシアムはMEMSを応用したアイデアを競う「第2回国際ナノ・マイクロアプリケーションコンテスト(iCAN)」の国内予選に高校生部門を新設し、12月に仙台で開催する。コンテストはセンサー等MEMSを組み合わせ、ユニークな機能作成を競う。参加予定の高校生を集め、実習教室を8月末に東北大で開催した。

20100903 電波新聞 4面：高感度ジャイロセンサー(エプソントヨコム）
モーションUIの入力デバイスとして適した、高精度・広検出範囲のジャイロセンサーをエプソントヨコムが開発した。QMEMSによる高精度ジャイロ素子の採用で安定性を確保し、高速モードと低速モードを同時出力することで広い動作範囲を高精度に検出できる。