20100824 日本経済新聞 38面：匂いかぎ分けるロボット（東大）
東京大学の竹内昌治准教授と神崎亮平教授らは特定の匂いをかぎ分けられるロボットを開発した。ロボットの口に取り付けた板に、匂いをとらえる蛾のたんぱく質をつけ、におい成分の入った液体を板に流すと、たんぱく質と匂い成分がくっつき、電流が流れる。実験では4種類を区別できた。食品の鮮度検査や室内の異臭の検知など、幅広い応用が期待できる。
20100824 日刊工業新聞 22面：3次元計測装置、ナノからミリまでカバー(東工大）
ナノメートルからミリメートルまで100万倍もの広い範囲で長さを計測できる3次元計測装置を東京工業大学新野秀憲教授らが開発した。走査型トンネル顕微鏡(STM)の測定原理を使っている。従来の精密計測ではプローブ(探針)の斜め方向からレーザー光を当て、反射方向の変化で形状を読み取るが、広域計測では精度維持が難しい。本装置ではプローブの真上からレーザーを当て、プローブの揺れを上下の動きで感知し、精度を維持した。対象物を置く計測台は上部から吸い上げて、摩擦による振動の影響を受けない非接触にし、精度を維持した。横方向にはリニアモータで移動し、レーザー光で位置のズレを感知する。繰り返し精度は1.2ナノメートルとの実験結果だった。
20100825 電波新聞 4面：水晶とMEMS技術を融合、新デバイス創造(日本電波）
日本電波工業はこれまでの水晶をベースとした技術に加え、MEMS技術を組み合わせた技術ブランド「AQMEMS」を立ち上げる。シリコン半導体の微細加工技術をベースとするMEMSでは、微小な構造体を作れるとともに半導体集積回路と一体化しやすい。水晶、シリコン、ピエゾという異種材料を組み合わせための技術も蓄積し、新たなデバイス開発を目指している。
20100825 電波新聞 5面：MEMS産業最前線（三菱電機、富士電機システムズ）
三菱電機はMEMS技術によるエアフローセンサー、圧力センサー、加速度センサーといった各種車載センサーを開発・製造している。
富士電機システムはMEMSファウンドリサービスを提供しており、フォトリソグラフィー、薄膜形成、エッチング、マイクロブラスト、陽極接合、ダイシング、測定評価などを受ける。
20100825 日刊工業新聞 9面：測定精度±30パスカル、小型圧力センサー開発(エプソントヨコム)
MEMSを水晶に応用した「QMEMS」技術により、小型で高性能な圧力センサーをエプソントヨコムが開発した。センサー素子に水晶を使用し、外部温度の影響を受けにくく、水晶振動子の計測技術を活用した「周波数カウント方式」によりノイズの影響を受けにくい。気圧測定装置、水圧による水位の測定装置等、従来装置の小型化に対応した。
20100825 日刊工業新聞 24面：全光ナノスイッチ、室温動作に成功(NEDO)
室温で動作する全光ナノスイッチの開発をNEDOと東京大学大学院大津元一教授が発表した。ガリウム・ヒ素半導体にインジウム・ヒ素を埋め込み、スイッチの動作温度を300ケルビンまで高めた。シリコンと光技術を融合するシリコンフォトニクス技術に比べ、全光型の光回路は小型で高性能な回路を作ることができる。2020年をめどに、CPUやサーバー、ルーターなどに組み込み、全光型の回路の実用化を目指す。
20100825 日経産業新聞 5面：センサー部品開発加速(エプソントヨコム)
エプソントヨコムはセンサー部品の売り上げを現在の1割以下から5割に引き上げる目標を立て、親会社のセイコーエプソンから技術者を移管し、センサー部品開発を加速する。ジャイロセンサー、ジャイロと加速度センサーを組み合わせた6軸センサー、圧力センサーなどを強化する。同社のセンサー部品は水晶片をMEMS加工することで、耐衝撃性や温度変化などに強いという特長がある。
20100825 日経産業新聞 11面：市場広がる車載用電子部品(広告特集)
センサーは自動車用電子部品として重要さが増している。アクセルとスロットルポジションセンサー、ステアリングと舵角センサー、吸排気温度と温度センサー、吸気量とエアフローセンサー、空燃比とジルコニア式酸素センサー、ブレーキと車輪回転速度センサー、サスペンションとピエゾ圧力センサー、車体の姿勢制御と加速度センサー、エアバッグとGセンサー(衝撃加速度)など。振動ジャイロは回転角速度を検出し、Gセンサーとともに横滑り防止装置に、カーナビでは車の進行方向の確認に使われる。
20100826 日刊工業新聞 1面：化学チップデバイス、ガラスに40ナノ幅の溝(東大）
ガラスに最少40ナノメートル幅の溝を掘った「拡張ナノ化学チップ」を東京大学の北森武彦教授、田中陽助教らが開発した。シリコン樹脂性の同種チップでは有機材料が使えないという課題があった。半導体加工で使用するフォトレジストをガラスに塗布し、電子線を照射、その後にフッ素系プラズマを照射し溝を作る。さらに高温高圧化でガラスを張り合わせチップを作る。様々な化学反応をチップ内で起こし、ナノ領域での物性現象を観察できる。
20100826 日刊工業新聞 9面：EUV露光装置投入15年以降に、液浸に資源集中(ニコン）
ニコンは半導体露光装置として、当面はフッ化アルゴンエキシマレーザー（ArF）を光源とした液浸方式の技術改良に集中し、極端紫外線（EUV）露光装置は15年以降となることを明らかにした。EUVは光の波長がArFの10分の一以下で、シリコンウエハー上の回路の線幅を細くでき、半導体メーカーからの要望が強い。露光装置で1台50億円以上といわれる先端装置開発を手掛けるのはオランダASMLとニコンの2社、ASMLは10年にEUV露光装置の試作量産機、12年に量産機を出荷する計画で、ニコンは差をつけられている。ニコンはArF露光装置のニーズがまだ強いことと、技術改良による回路線幅微細化に期待をかけている。
20100827 日経産業新聞 11面：わずかな温度差で発電、衣服・家電に応用へ（九州工業大）
室温レベルのわずかな温度差による発電に有望な熱電変換材料を、九州工業大学の宮崎康次准教授らが九州大学と共同で開発した。ビスマス・テルル合金に直径数十ナノメートルの穴を多数あけると、熱が伝わりにくくなり、材料の両端の温度差を保ちやすくなり、熱電変換効率が高まる。実験では新材料は効率が2.5倍になった。熱電変換素子は温度差が大きい個所に取り付け発電していたが、新材料が実用化すれば衣服や携帯電話等様々な製品に応用が期待できる。
20100827 日刊工業新聞 8面：3軸加速度センサー、厚さ1㎜実現（大日本印刷）
大日本印刷はファウンドリ事業の一環として、厚さ1㎜で樹脂パッケージによる低コスト化した3軸加速度センサーを開発した。制御ICとMEMSチップをスタックしている。携帯電話やゲーム機の需要を見込んでいる。MEMSファウンドリサービスでは圧力センサーやジャイロセンサーの受注実績を上げているが、生産能力拡充のため6インチウエハーから8インチラインへシフトを推進している。
20100827 電波新聞 10面：MEMSファウンドリ事業、月次売上3億円計画（日立原町電子工業）
日立原町電子工業（茨城県日立市）は日立製作所向け半導体が売上の8割を占めるが、12年にMEMSファウンドリ事業で月次売上3億円を目指す。耳式体温計用赤外線センサー、血液の状態観察用シリコンチップ流路に加え、MEMSミラーやスキャナなど光デバイスを目指す。
20100827 電波新聞 10面：MEMS産業最前線（大日本印刷、オリンパス）
大日本印刷はMEMSファウンドリ事業を展開し、試作・プロセス開発・量産検証サービスを提供している。シリコン貫通電極形成技術にも注力している。
オリンパスはファウンドリサービスと並び、走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーの開発製造に注力している。東京大学とパナソニックが共同開発した3軸触覚センサーの用途開発にも取り組む。
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