MEMS部品、製造技術研究へ15社スクラム

20100913 日本経済新聞夕刊 7面
　ＭＥＭＳ部品が加速度センサー、ジャイロセンサー、圧力センサー等に活用されている。今後は、体内埋め込み型の心拍モニター等医療分野、材料ひずみを検知して建物や橋の老巧化診断等の分野への応用も期待される。技術の底上げを狙い、国内15社が製造技術の共同開発に11月より乗り出す。