動き検知「圧電薄膜」鉛使わず作製(日立電線）

20100911 日本経済新聞 11面

圧電薄膜に鉛を使わずに製造する方法を日立電線が開発した。圧電薄膜は振動で発電しセンサー部品に使われているが、有害な鉛を使っており、今後の規制対象となることが予想される。新しい製造方法は半導体製造技術を応用し、厚さ3マイクロのニオブ酸カリウムナトリウムの薄膜を載せた基盤を作成した。