圧力センサー生産性を改善、全工程で製法改良（アルプス電気）

20100916 日刊工業新聞 10面

ＭＥＭＳ技術を用いピエゾ抵抗式圧力センサーを製造しているアルプス電気は、全工程で製法を改良し、生産性を約3倍とした。ウエハー工程では薄膜プロセスの最適化でバラツキを最小化し人による補正作業を削減した。パッケージ工程では自動制御専用機を投入し、検査や補正作業を不要とした。検査・出荷工程ではターンテーブル形状の装置を導入し効率化した。