2010.06 海外産業動向
http://ibm-news.tmcnet.com/ibm/articles/90383-wispry-ibm-jo-hands-develop-mems-process-technology.htm
RF-MEMSを主力デバイスとする米WiSpry, Inc.とIBMはRF-MEMSデバイスの技術開発と生産について連携すると発表した。共同開発は将来のモバイル機器搭載を目指した高集積型RF-MEMSを含む。Jeff Hilbert(WiSpry)は、この共同研究で広帯域なチューナブルRF-MEMSと高集積型デバイスが実現できるであろうと言う。IBMと組むことによって生産能力、品質に優れるIBMのプロセス技術(0.18μm)を活用でき、18カ月以内にRF-MEMS/CMOS集積型デバイスの製造まで達成できるであろう。将来のマルチバンドモバイル機器、広帯域通信、基地局用に幅広く応用が期待できる。
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