ナノインプリント用マクロ検査分野参入（SCIVAX)

20110119 日刊工業新聞 6面

　光の干渉や回折を利用してパターンムラや傷などを見つけるナノインプリント用マクロ検査装置にSCIVAX(川崎市)が参入する。金型や成形品の品質管理に使用し、プレス後の樹脂の残りや離型剤の劣化などを検出する。直径100㎚の柱状パターンで±20㎚程度の変化を検出できる。同社は製造装置に加えて廉価量産用ナノインプリントの検査装置を手掛ける。