20110107 日刊工業新聞 23面
文部科学省の「先端融合領域イノベーション創出拠点の育成」事業採択プロジェクトの一つである東北大学では、LSIとMEMS融合プロセス技術について、14社の参加企業がMEMSを使った将来の主力製品を社外との水平分業による実現を目指して取り組んでいる。クローズ型の企業体質をオープン型に変える”場“の役割をプロジェクトは果たしている。水平連携の成果の一つとして、秘密保持のルールを守りながら同一のウエハー上に複数社のLSI試作を実現する「乗り合いウエハシステム」がある。
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