「MEMS2011に7件の論文が採択」、BEANSプロジェクトが成果発表

20110125　日経BP Tech ON

　技術研究組合BEANS研究所のBEANSプロジェクトの成果として、メキシコ・カンクンで開催中の国際学会MEMS2011で7件の論文が採択された。

　１．3D構造への位置選択的自己組織化微粒子の配列：トレンチ構造の側壁に選択的にポリスチレン微粒子を配列。また、トレンチ加工時に導入されるスキャロップ構造を利用して、ポリスチレン微粒子の配列状態を制御した。

　２．どんな隙間も均一製膜：耐熱温度の低いポリマー材料（PDMS）上へ超臨界製膜法を適用し、 PDMS流路内部へSiO2製膜に成功した

　３．立体構造を使った高容量キャパシタ形成に成功：超臨界流体と呼ばれる特殊な流体中において，立体キャパシタを作製し，平面キャパシタの70倍の高容量化に成功した。

　４．摩耗しにくく、摩耗されても、特性が変わらないプローブ：新規耐摩耗プローブの構造、設計、試作を行い、耐摩耗プローブの耐久性と描画安定性を確認した

　５．誰でも作れる！ナノサイズのデコボコゲル：微細な溝を有するパターン上でゲルを作製することで、微細な凹凸構造を表面に有するゲルを作製した。

　６．大面積電子織物の電導接点：繊維状基材連続微細加工としてシートデバイスの応用を広げるために縦横ファイバーの電気的な接触技術を開発した。

　７．特殊材料ガスを用いないプラズマ化学輸送法による多結晶Si成膜：プラズマ化学輸送法により大気圧で多結晶Si成膜を実現し、この膜を用いて歪ゲージ型の圧力センサを世界で初めて製作した。