燃料電池向けフローセンサー(オムロン)

20110117 日刊工業新聞 8面

　計測最大流量を高めたMEMSフローセンサーをオムロンが発売する。毎分50リットルだったが70リットルに高め、家庭用燃料電池システムの流量制御を可能とした。11年夏には計測最大流量毎分200リットルタイプも発売し、業務用燃料電池や医療機器市場を目指す。