台湾ＴＳＭＣ、直径450ミリ大型ウエハー、13年にも試験生産

20010128 日本経済新聞 9面

　世界最大のファウンドリーである台湾積体電路製造(TSMC)は、世界で初めて直径450㎜のウエハーを使う試験生産ラインを2013年に稼働すると発表した。2015年にも量産ラインを稼働する計画で、量産時の回路線幅は20㎚以下としている。