低炭素社会に貢献する多機能MEMSセンサーモジュール

20110107 電波新聞 31面

　オムロンではSSM(Smart Sensing Module)と呼ぶ、センサー・制御・電源・通信の機能を集積化した多機能モジュールを開発中であり、SSMを使用した空調エネルギー最適化システムの実証実験を同社のクリーンルームで行っている。温度、湿度、電流、風速などをリアルタイムでモニターし、最大の省エネ効果を見出すことを目的としている。この中で使われているのがMEMSフローセンサーとMEMSサーマルセンサーである。フローセンサーは熱エネルギー分布の流速による変化を捉える熱式フローセンサーで1.5㎜四方に集積した。サーマルセンサーはベーゼック効果によるサーモパイル方式で赤外線エネルギーを温度に換算し、人を検知している。