海外製の製造装置拡充、MEMS分野を強化(キャノンMJ)

20110617 電波新聞 5面

　MEMS市場の成長を見込み、海外製のMEMS製造装置の取り扱いをキャノンマーケティングジャパンが強化している。これまでの海外半導体製造装置輸入販売の実績をもとに非半導体、特にMEMS分野を重点領域としている。犠牲槽ドライエッチング装置メーカーの英memsstar社の製品は非プラズマ式のガス反応式で立体的なナノオーダーのエッチングに対応でき、同社装置は産学官連携のMEMS拠点「マイクロナノオープンイノベーションセンター」（MNOIC） に採用、導入されている。この他、ObducatAB社のナノインプリント装置、産業用X線CT装置等を扱っている。