高感度気圧センサー、1センチの上下運動検知(東大)

20110620 日経産業新聞 11面

　MEMS技術を活用して、気圧変化に敏感に反応し、1cmの上下運動を検知するセンサーを東京大学の下山勲教授らが開発した。従来の気圧センサーは「ダイヤフラム型」と呼ばれ、トランポリン状の薄膜の形状変化により気圧を測るが、最小で5～10パスカル(1パスカルは10万分の1気圧)程度の精度が限度だった。東大のセンサーはカンチレバーを使用し、カンチレバーのたわみにより1cmの上下に相当する0.1パスカルの圧力変化を測れる。新センサーはカーナビに組み込み道路の高低差を計測したり、歩数計に組み込んで平地と階段のエネルギー消費量を分けて算出するという使い方ができる。