センサー、環境・省エネ関連でさらに成長、MEMSセンサーに注目

20110616 電波新聞 ４面

　各種センサーの需要が伸びているが、センサー開発の加工技術でMEMS技術が注目されている。落下センサーとして3軸加速度センサー、手振れ防止としてジャイロセンサーなどが開発されており、最近は圧力センサーやフォースセンサーなどに展開している。最近は高精度センサーに対応するため、ウエハーとしてシリコンから水晶の利用が増えている。今後も環境・エネルギー分野での応用が期待されている。