MEMSデバイス事業、高性能製品の開発強化(米ADI)

20110620 電波新聞 4面

　MEMSデバイス事業で世界有数のシェアを誇る米アナログ・デバイセズ社（ADI） は、高性能製品の開発を加速化している。このほど、175℃という超高温下でも安定動作する小型加速度センサーを発売した。これまで150℃を上回る加速度センサーはMEMS製品では例がなく、実現していたピエゾ素子によるデバイスに比べ性能・サイズ・金額で大幅な改善が行われた。超高音動作対応の加速度センサーは石油掘削や地質調査など産業用ニーズに応える製品で、動作温度範囲の拡大と低ノイズによる高精度化を実現した。