Epson (America)社：産業機器向け高精度QMEMSモーションセンサ開発

海外技術動向
http://www.i-micronews.com/news/Inertial-measurement-unit-targets-industrial-applications,7109.html
　Epsonは低価格、高精度、低消費電力、小型を兼ね備え、QMEMS技術を応用した新しいモーションセンサを開発した。現在、民生用に用いられている汎用モーションセンサと比較して100倍の精度を誇る。一方、価格は超高精度で定評があり宇宙、軍事用で用いられている光ファイバ型と比較して数分の１になる見通しである。パッケージサイズは2.5×2.5×1cmで、3軸加速度センサと3軸ジャイロセンサを含む。特にジャイロセンサは低ドリフトが特徴で、6°/hrを誇る。この製品は低価格（数ドル）/低精度の民生用MEMSモーションセンサと高価格（2万ドル）/超高精度光ファイバジャイロの間の価格、精度を求めるニーズに適する。例えば耕作機器、建設機器、医療、エレベータ、軍事機器等に適する。