装置の傾き検知、装置４割小さく(セイコーエプソン)

20110616 日経産業新聞 ７面

　水晶片をMEMS技術により加工し、従来製品に比べて4割小型化した慣性計測ユニットをセイコーエプソンが開発した。直線的な動きの加速度と回転運動の角速度を立体的に把握し、産業用組立機器のアームなどに適用して動きを正確に測定・補正し、組み立てる製品の歩留まり向上につながる。