20110224 日経産業新聞 7面
クリーンルームにMEMSセンサーを設置し、消費エネルギーの最適化を図るシステムの事業化をオムロンが進めている。自社で開発したMEMSセンサーを活用した省エネシステムを売り込もうというもので、効果測定やシステム改良を進めている。オムロンがMEMSで強化しているのは、フローセンサー、サーマルセンサー、圧力センサー、マイクロホン、スイッチの5分野で、省エネシステムではこのうち3つのセンサーを使用する。同社は直径200ミリメートルのシリコンウエハーを加工できる製造ラインを持ち、国内他社に比べて生産効率で優位。しかし、世界市場ではまだまだ大手とは言えず、部品単体と部品を活用したシステムの両面でMEMS事業の拡大を狙っている。
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