エンコーダー2.8㎜角に(エクストコム）

20110222 日刊工業新聞 ７面

　ＭＥＭＳ技術を利用し部品の数をシリコン基板や半導体レーザーなど5点に抑え2.8mm角のチップに集積したエンコーダーをエクストコム(神奈川県大和市)が販売する。エンコーダーは対象物の位置の変化を検出し、危機の位置決めや回転角の計測用などに使われる。分解能は1.6マイクロメートルで、同精度の既存品に比べ体積は約300分の1になった。高精度な測定器、ロボットなどへの採用を見込んでいる。