Harvard大学：紙を使った小型加速度センサ開発

2011.2 海外技術動向
http://www.i-micronews.com/news/Harvard-University-researchers-fabricate-MEMS-paper-sensors,6442.html
　Harvard大学のGeorge Whitesidesらの研究チームは、紙をベースとする加速度センサを開発した。特徴として低価格で、使い捨てのようにして使え、民生用、医療用途が期待される。（写真参照）
　センシングメカニズムはピエゾ抵抗が形成されたシリコンカンチレバーと同じで、紙の変形を、紙の上に印刷された抵抗体の電気抵抗の変化として捉える。写真にあるように、抵抗体はグラファイトを混ぜた銀ペーストから成り、スクリーン印刷でパターン形成される。紙の他に例えばビニルフィルム等でも作製できる。