IMECとMEMS設計ソフトのCoventor社が提携

2011.2 海外技術動向
http://www.semiconductor-today.com/news_items/2011/FEB/IMEC_010211.htm
　IMECとMEMS設計ソフトベンダーのCoventor社がCMOS集積型MEMSの開発で提携した。内容は、IMECが保有するCMOS基板上にSiGe薄膜を応用したMEMSデバイスを一体形成するCMOS集積型SiGe-MEMSプロセス及びデバイスの開発をCoventor社の設計ソフト（PDKs）を用いて開発の効率化を図ろうとするものである。Coventor社のMEMS設計ソフトはこれまで１５年間に渡り多くのMEMS設計者に愛用されてきた。Coventor社の今後の方針として"MEMS＋"を展開中で、その一つが、CMOS集積MEMSの設計ソフトの開発である。IMECがCMOS集積型MEMSプロセス開発の効率化を考えていたので、両者の意見が合致した。
　IMECの開発責任者は次にように述べた。現在、CMOS集積型MEMSへのニーズが高まっており、様々な分野の企業、研究機関から来る開発者が増大している。CMOSに新規な機能を加えようとするIMECの方針が認められてきた。Coventorと組むことによって同デバイスの開発が加速されるので、IMECへ来るパートナーにとっても大きな力になるであろう。