カンチレバー並列化、20倍の高感度センサー開発(物材機構）

20110210 日刊工業新聞 22面

　カンチレバー(片持ち梁)を並べ、カンチレバーにかかる力(応力)をピエゾ抵抗により効率よく検出する構造で、従来比20倍以上の感度を持つ高感度センサーを物質・材料研究機構が開発した。膜型表面応力センサーで、膜に吸着した検体分子による表面応力を、膜の周囲に埋め込んだピエゾ抵抗により検出する。ガス分子から生体分子まで様々な試料を空気中や溶液中で測定可能であり、レーザーで読み取る既存のカンチレバーに比べ小型で簡便という長所がある。ピエゾ抵抗型は感度が低いという欠点があったが、レーザー読み取り方式と同等の精度に高めた。